傳感器作為軍事電子裝備的“感官”,，是決定軍事電子裝備水平的關(guān)鍵部件之一?；鸺l(fā)動機(jī)、航空發(fā)動機(jī),、重型燃?xì)廨啓C(jī),、燃煤燃?xì)忮仩t等動力設(shè)備的主要部件處在高溫惡劣環(huán)境，燃燒室溫度甚至超過2000℃,。利用高溫傳感器可對噴嘴燃燒室,、壓氣機(jī),、葉片等關(guān)鍵部位的壓力、溫度等參量進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測,，提高燃燒性能和推進(jìn)效率,，并對部件健康狀態(tài)進(jìn)行評估。液體火箭發(fā)動機(jī)的推力室主要由推進(jìn)劑噴嘴,、燃燒室,、噴管組件等裝置組成,。當(dāng)噴嘴處的壓力足夠高時(shí),，就會形成噴嘴阻流和超音速射流,，大部分的熱能就可轉(zhuǎn)換成動能,，對噴嘴處壓力的實(shí)時(shí)監(jiān)測有助于優(yōu)化發(fā)動機(jī)燃燒室收縮比設(shè)計(jì)，可提高火箭發(fā)動機(jī)的推進(jìn)效率,。燃燒室點(diǎn)火延遲數(shù)毫秒都會導(dǎo)致過量液體進(jìn)入,，引起災(zāi)難性后果，通過燃燒室壓力監(jiān)測可精確控制點(diǎn)火時(shí)間,，避免燃燒室“硬啟動”,。燃燒室的間歇性燃燒、振蕩燃燒會導(dǎo)致燃燒室隔熱邊界層變薄,、運(yùn)載器受損等后果。獲取燃燒室內(nèi)部,、推進(jìn)劑噴嘴處的實(shí)時(shí)壓力，評估壓力的低頻振動,，估算室壓響應(yīng)時(shí)間，對減少間歇燃燒,、振蕩燃燒,，提高燃料的燃燒率,，增強(qiáng)火箭的安全性具有重要意義。重型燃?xì)廨啓C(jī)是發(fā)電機(jī)組,、大型船艦的動力來源,，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜、參數(shù)多,，工況多變,。隨著G,、H級燃?xì)廨啓C(jī)的普及,，對燃?xì)廨啓C(jī)的穩(wěn)定性要求也越來越高,。對渦輪,、壓氣機(jī)、燃燒室,、軸承的溫度,、壓力,、振動等參量的監(jiān)控，可降低燃?xì)廨啓C(jī)的故障率,，減少15%~20%的維護(hù)成本。另外,，監(jiān)測初氣溫度及燃燒室的壓力,，對提高煤氣轉(zhuǎn)化效率,，減少CO2,、CO、SO2,、NO,、等氣體的排放具有重要意義-習(xí)。高溫壓力傳感器在航天,、航空、國防建設(shè),、能源開發(fā)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用需求,。常溫MEMS壓力傳感器主要以硅（Si）基壓力傳感器為主，在100℃工作溫度范圍內(nèi),，商業(yè)化的Si壓力傳感器工藝成熟,、體積小、性能好,，但是當(dāng)其在超過120℃環(huán)境使用時(shí),，內(nèi)部PN結(jié)會出現(xiàn)漏電，傳感器性能下降甚至失效,。另外,，Si材料在大于500℃時(shí)還會發(fā)生塑性變形，不能滿足高溫環(huán)境下壓力測量的需求,。為此,，國內(nèi)外學(xué)者將目光投向其他材料，研究耐高溫材料制備高溫傳感器的可行性,。

以美國為例,，1982~1990年間，用于軍事的溫度﹑壓力等五種主要傳感器,，年平均增長率達(dá)到12.9%,，1995年用于太空與軍事的傳感器用量約占傳感器市場總額的15%，產(chǎn)值12.5億美元,，其中壓力傳感器的用量僅次于溫度傳感器,。1992年美國國防部將傳感器列入《美國國防核心技術(shù)計(jì)劃》11項(xiàng)核心技術(shù)領(lǐng)域中的“探測器”和“電子器件”兩項(xiàng)中，在核心計(jì)劃中的進(jìn)度與力度明顯高于其它10個(gè)（包括計(jì)算機(jī)）領(lǐng)域,。

高溫環(huán)境下的壓力測量已成為國防軍工,、工業(yè)控制領(lǐng)域必須突破和掌握的基礎(chǔ)關(guān)鍵技術(shù)之一。被稱為“第三代傳感器”的薄膜壓力傳感器,，自80年代推出以來,，以其優(yōu)良的技術(shù)性能和耐惡劣環(huán)境能力引起世界各國的重視，在軍事裝備中得到廣泛使用,。如美國用于阿波羅飛船,、Viking火星探測器（CEC公司產(chǎn)1000-02型）,俄羅斯用于聯(lián)盟號飛船和暴風(fēng)雪-能源號航天飛機(jī)（奔薩研究所產(chǎn)BT-212型）,法國用于阿迪亞娜Ⅳ號和Ⅴ號運(yùn)載火箭（Fagor公司產(chǎn)27 N型）。僅Viking火星探測器就使用了傳感器8000只，其中薄膜壓力傳感器300余只,。

近年來,，新材料的發(fā)現(xiàn)，MEMS工藝加工,、封裝工藝和傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上的突破,，促進(jìn)了高溫壓力傳感器的研究工作。國外在高溫壓力傳感器的研究方面已取得了較大進(jìn)展,，形成了多種類型的產(chǎn)品,。相比國外，國內(nèi)高溫壓力傳感器的研究起步較晚,，雖然十二五期間在基于SiC的高溫壓力傳感器的研究方面取得了一定進(jìn)展,，但要實(shí)現(xiàn)傳感器真正意義上的工程化、產(chǎn)業(yè)化還需投入更多的精力,。針對歐美對我國實(shí)施技術(shù)封鎖的實(shí)際情況,，以及國內(nèi)高溫壓力傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀，隨著我國大型運(yùn)載火箭﹑固體火箭﹑智能飛機(jī)﹑衛(wèi)星﹑空間往返載人航天器以及新型海上與水下武器任務(wù)的提出,，對軍用傳感器不論在需求品種和數(shù)量上都有較大的增加,，我國要完成傳感器的工程化、產(chǎn)業(yè)化,，形成系列產(chǎn)品,，提升技術(shù)整體水平與國際競爭力，為重型火箭發(fā)動機(jī),、航空發(fā)動機(jī),、高超發(fā)動機(jī)等先進(jìn)動力設(shè)備的研制提供技術(shù)支撐。