在各國的國防、航空航天,、工業(yè)生產(chǎn)與自動控制系統(tǒng)中,，例如運(yùn)載火箭燃料室的壓力測量,、發(fā)動機(jī)燃燒室壓力監(jiān)測,、供油壓力,、導(dǎo)彈飛行的平衡控制以及石油工業(yè)的井下壓力測量等，都需要高精度,、高穩(wěn)定性,、耐惡劣環(huán)境的壓力傳感器，而且大多需要金屬彈性襯底的薄膜電阻應(yīng)變式壓力傳感器,，因為金屬的機(jī)械性能優(yōu)良,，耐高溫性能和耐腐蝕性能優(yōu)越。研制能適應(yīng)各種惡劣環(huán)境下壓力測量要求的壓阻式薄膜壓力傳感器,，其關(guān)鍵技術(shù)在于合金敏感薄膜的制備工藝,。高電阻穩(wěn)定性的合金敏感薄膜的制備是保證薄膜壓力傳感器在各種惡劣環(huán)境下仍具有穩(wěn)定性能的關(guān)鍵。

典型合金薄膜應(yīng)變壓力傳感器的功能模塊主要由彈性敏感元件,、轉(zhuǎn)換元件等部分組成,。彈性敏感元件是將被測物理量轉(zhuǎn)換為一種易于變換成電信號的物理量的部件。轉(zhuǎn)換元件是能將感受到的物理量直接轉(zhuǎn)換成電信號的部件,。合金薄膜應(yīng)變壓力傳感器的工作原理可簡述為：壓力引起電阻變化,，通過電阻值變化轉(zhuǎn)換為輸出電壓變化，實現(xiàn)對壓力的準(zhǔn)確測量,。薄膜彈性元件質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響到傳感器的性能與長期穩(wěn)定性,。

利用電阻應(yīng)變效應(yīng)制造的電阻應(yīng)變式壓力傳感器經(jīng)歷了三個發(fā)展階段：絲式電阻應(yīng)變壓力傳感器、箔式電阻應(yīng)變壓力傳感器和薄膜電阻應(yīng)變壓力傳感器,。

絲式電阻應(yīng)變壓力傳感器主要由金屬絲作為轉(zhuǎn)換元件,，用膠粘貼在敏感元件上。由于圓截面的金屬絲與變形表面結(jié)合不夠緊密,，而且電阻絲末段輸出線接頭不易焊接,，焊接接頭極易損壞，所以該類傳感器壽命短,、穩(wěn)定性差,、精度不高。

隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展,，特別是光刻技術(shù)的發(fā)展,，人們又成功研制出箔式電阻應(yīng)變式壓力傳感器。它的轉(zhuǎn)換元件是箔式應(yīng)變片,，其敏感柵是通過光刻,、腐蝕工藝等制成，箔合金材料為康銅或改性鎳鉻合金,。由于箔敏感柵斷面為長方形, 表面積大,、散熱性能好、柵條均勻、尺寸小,、應(yīng)變片薄,，所以相對于絲式電阻應(yīng)變傳感器, 箔式電阻應(yīng)變式壓力傳感器的溫度特性和精度都有了非常大的提高，能滿足一般的自動控制和測量的需要,。但是,，由于粘貼膠本身固有的缺陷，膠在較高溫度和較大濕度等惡劣環(huán)境下使用一定時間后,，其力學(xué)性能明顯變差,，致使傳感器穩(wěn)定性變差，蠕變與遲滯增大,。所以粘貼式傳感器不能滿足惡劣環(huán)境下使用,。

濺射薄膜壓力傳感器芯體

隨著現(xiàn)代科技的飛速發(fā)展，許多工業(yè)生產(chǎn)和自動控制,，如運(yùn)載火箭燃料室的壓力測量,、導(dǎo)彈飛行的平衡控制以及石油工業(yè)的井下壓力測量等，都需要在耐高溫,、耐腐蝕惡劣環(huán)境下工作的壓力傳感器,，這就促使人們采用新的技術(shù)和工藝手段來開發(fā)制作新型壓力傳感器，因此金屬彈性襯底的金屬薄膜應(yīng)變壓力傳感器便應(yīng)運(yùn)而生了,。金屬薄膜應(yīng)變壓力傳感器的敏感薄膜是采用真空沉積或真空濺射等方法制成：直接在彈性襯底（表面有絕緣層的金屬或石英,、云母等無機(jī)材料）上濺射沉積一層導(dǎo)電金屬薄膜，再采用光刻技術(shù)制成應(yīng)變電阻,，然后在應(yīng)變電阻上濺射一層SiO2,、Al2O3等絕緣保護(hù)膜來保護(hù)應(yīng)變電阻，使其不暴露于大氣,，以免電阻條被氧化,。如果是金屬彈性襯底，一般應(yīng)首先在金屬彈性襯底上濺射一層或多層絕緣膜（如SiO2,、Si3N4,、Al2O3 等）。

相對于絲式與箔式壓力傳感器,，薄膜應(yīng)變式壓力傳感器在性能上有很大提高,，能適應(yīng)惡劣的環(huán)境。但是直接在金屬彈性襯底上濺射或沉積薄膜需要解決幾個問題：例如,，高質(zhì)量金屬彈性襯底表面的制備,、薄膜與襯底間的強(qiáng)粘附性、金屬彈性襯底與薄膜電阻間的高絕緣性等關(guān)鍵技術(shù),。澤天傳感長期從事壓力傳感器的研究與制造,，在薄膜濺射壓力采購清單制造工藝上積累了豐富的經(jīng)驗，解決薄膜壓力傳感器生產(chǎn)制造的關(guān)鍵技術(shù)與工藝，產(chǎn)品穩(wěn)定可靠,，應(yīng)用廣泛,。本文源自澤天傳感，轉(zhuǎn)載請保留,。