現(xiàn)有的壓力傳感器都是基于一種彈性材料的形變,，而彈性材料不論其多么優(yōu)良,，在每次彈性恢復(fù)后,，總會產(chǎn)生一定彈性疲勞。由于彈性材料引起的漂移根據(jù)材質(zhì)不同各不相同,，但是合格的產(chǎn)品,，都在規(guī)定的范圍之內(nèi)。

此外,，一種材料對壓力敏感的同時對溫度也敏感,，任何材料都有其固有的溫度特性，由此引起的的壓力傳感器的輸出變化叫做溫度漂移,。通常壓力傳感器都要進(jìn)行溫度補(bǔ)償,，利用另一種溫度特性相反的材料抵消溫度引起的變化，或者使用數(shù)字信號補(bǔ)償技術(shù),。

玻璃微融技術(shù)是擴(kuò)散硅壓力傳感器發(fā)展的初期的一種粘接工藝,，其本質(zhì)上是一種擴(kuò)散硅壓力傳感器，就是擴(kuò)散硅芯片和金屬基座之間用玻璃粉封接,，與傳統(tǒng)的應(yīng)變片工藝類似,，壓力芯片的周圍存在著較大的應(yīng)力，即使經(jīng)過退火處理,，應(yīng)力也不能完全消除,，同應(yīng)變片粘貼工藝一樣，玻璃也存在“蠕變”,。當(dāng)溫度發(fā)生變化時,，由于金屬、玻璃和擴(kuò)散硅芯片熱澎脹系數(shù)的不同,，會產(chǎn)生熱應(yīng)力,，使傳感器的零點(diǎn)發(fā)生漂移。這就是為什么玻璃微融壓力傳感器的零點(diǎn)熱漂移非常大的重要原因,。同時由于蠕變的存在,，此種壓力傳感器的常溫零點(diǎn)也存在嚴(yán)重的時漂問題。

在傳感器的引線工藝方面,，由于采用銀漿和接線柱焊接,，容易造成接點(diǎn)電阻不穩(wěn)定。特別是在溫度發(fā)生變化時,，接觸電阻更易變化,，這些因素是造成傳感器零點(diǎn)時漂、溫漂大的原因,。

要消除壓力傳感器的漂移問題我們可以金硅共熔焊接方法,，將擴(kuò)散硅和基座之間采用金硅共熔封接，因?yàn)榻鸨容^軟應(yīng)力小,，引壓管是玻璃管將之燒結(jié)到硅環(huán)上,，玻璃管和底座用高溫膠粘接,，為測表壓，在玻璃管外粘接一金屬管,，通到大氣中,。擴(kuò)散硅電阻條組成惠斯登電橋，用高摻雜的方法形成導(dǎo)電,，將電橋和分布在周邊的鋁電極可靠地連接起來,，而不采用通常蒸鋁，反刻形成鋁帶的方法,，這樣做有助于減小傳感器的滯后,，鋁電極和接線柱之間用金絲壓焊和超聲焊，使接點(diǎn)處的電阻比較穩(wěn)定,。

通過一定的材料改進(jìn)和工藝改進(jìn),，雖然在一定范圍內(nèi)可以改善玻璃微融壓力傳感器的零點(diǎn)漂移和溫度漂移，但是從目前市場應(yīng)用的反饋情況來看,，玻璃微融壓力傳感器的穩(wěn)定性還是存在非常大的技術(shù)問題,，一些工程機(jī)械設(shè)備制造商和液壓設(shè)備廠紛紛替換原來的微融技術(shù)的壓力傳感器，而采用技術(shù)更為先進(jìn),、抗惡劣環(huán)境能力更為強(qiáng)大的濺射薄膜壓力傳感器,，因此，玻璃微融壓力傳感器技術(shù)改進(jìn)之路還有很長的路要走,。本文源自澤天傳感,，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請保留出處,。